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晶粒定位器及晶粒的定位方法

1160   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:46
該發明涉及一種晶粒定位器及晶粒的定位方法，其中所述晶粒定位器包括透明板，所述透明板表面設置有多個定位單元，所有定位單元均包括坐標標記，且各個定位單元的坐標標記不同，且在所述透明板放置到所述晶圓上方時，所述定位單元與晶圓的至少一個晶粒對應設置。所述晶粒定位器及晶粒的定位方法能夠將晶粒狀態圖上的失效晶粒坐標快速對應到晶圓表面的具體晶粒，在做失效分析的過程中能快速準確找到目標晶粒，加快了失效晶粒的篩選速度，提高了失效晶粒的確認準確率，側面提高了所述芯片的生產良率。
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聲明：
“晶粒定位器及晶粒的定位方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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