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集成電路缺陷點定位方法

1167   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:41
本發明屬于集成電路失效分析領域。本發明提供了一種集成電路缺陷點定位方法，本發明方法通過將集成電路進行開封，同時在集成電路短路引腳的兩端進行通電，形成熱點，再通過紅外熱成像顯微鏡進行拍攝，與未通電時拍攝的照片進行比對，從而準確定位出微短路的精確位置，為后續的進一步分析提供有效信息。本發明有如下優點：1、本發明方法可以對集成電路的微短路缺陷點進行準確定位，速度快，成本低，效率高；2、本發明方法不對人體產生傷害；3、本發明方法極大地提高了封裝級失效分析的成功率。
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聲明：
“集成電路缺陷點定位方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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失效分析
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