本發明公開一種設計布局為主的快速在線缺陷診斷、分類及取樣方法及系統,本發明的方法是先取得物體的設計布局圖與物體于一重要制程階段的缺陷數據,再從失效風險預診斷分析數據庫中取得與設計布局圖相關的一預診斷數據群體,然后根據預診斷數據群體判斷缺陷數據的致命缺限指數暨失效風險等級。借此,本發明能提高缺陷檢測的效率與準確度。
聲明:
“設計布局為主的快速在線缺陷診斷、分類及取樣方法及系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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