本實用新型涉及一種探針裝置及自動調整探針壓力的晶粒點測機,包括探針裝置、Z軸自動升降裝置和控制器,所述探針裝置包括手動位置調節組件、壓力傳感器和探針,所述壓力傳感器用于檢測探針壓力;在整個LED芯片的檢測過程中,由于探針壓力通過Z軸自動升降裝置調整并始終保持在預設范圍內,從而保證了探針和LED芯片的良好接觸,使晶粒點測機能夠正常檢測LED芯片的發光性能;不會因為探針壓力過大,導致固定探針的部件發生形變而使彈性失效,由于無須考慮固定探針的組件因彈性失效而導致的維修問題,因此提高了晶粒點測機的穩定性,降低了維修成本。
聲明:
“探針裝置及自動調整探針壓力的晶粒點測機” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)