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制備特定失效點透射電子顯微鏡平面樣品的方法

988   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:36
本發明一種制備特定失效點透射電子顯微鏡平面樣品的方法，采用聚焦離子束截取樣品上失效位置附近一塊樣品，通過Pick-Up系統將截取的樣品吸起并豎直放立在硅片表面，用聚焦離子束鍍金的方法將樣品固定在硅片表面后制備成透射顯微鏡平面樣品。本發明通過聚焦離子束精確截取樣品，省去了人工研磨的過程，大大提高了樣品制備的成功率和樣品的質量，對后續的失效分析和結構分析提供了極大的幫助。
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“制備特定失效點透射電子顯微鏡平面樣品的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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