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原子尺度下動態觀測III-V族場效應晶體管柵介質失效的方法

1186   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:33
本發明公開了一種原子尺度下動態觀測III?V族場效應晶體管柵介質失效的方法，所述III?V族是指具有高遷移率材料銦砷化鎵。所述方法包括：制備適用于透射電子顯微鏡的樣品和納米鎢探針；將所制得的樣品搭載在專用銅網上，將原位樣品桿放入透射電子顯微鏡中；將納米鎢探針與樣品柵極接觸；然后在納米鎢探針和銅網之間加恒定電場；操作透射電鏡實時動態地觀測樣品形貌和電流變化過程；通過能譜進行局域化學元素分析，與未損壞之前的樣品的能譜信息做比較，分析失效原因。本發明能夠對器件失效的過程定點定量進行分析，找到失效的位置、狀態和其變化過程，分析器件的失效機理，得到解決措施。原位透射電鏡的方法無損，實時，有高分辨率，比其他光譜檢測先進。
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