一種用于評估稀有失效事件的電路良率分析方法及其系統,其可提高重要性采樣蒙特卡羅(ISMC)模擬效率及準確性。所述方法包括:執行初始采樣,以檢測在多維度參數空間中分別位于一個或多個失效區處的失效樣本;產生失效樣本沿每一維度在離散值處的分布;識別所述失效樣本;執行變換以將所述失效樣本投影到變換空間中的所有維度中;以及針對所述參數空間中的每一維度來分類失效區的類型。
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