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提高絕緣體擊穿電壓失效分析效率的測試結構及使用方法

863   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:29
本發明公開一種提高絕緣體擊穿電壓失效分析效率的測試結構，包括：若干并聯電容，每一個電容的上極板均通過第一接線連接第一金屬墊，每一個電容的下極板均通過第二接線連接第二金屬墊，其特征在于，還包括：第三金屬墊，通過第三接線連接所述第二接線；第四金屬墊，通過第四接線連接所述第一接線。本發明的優點是：采用新的測試結構后，對測試結果沒有影響，同時在失效分析時也能保證絕大部分樣品能找到失效位置。
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聲明：
“提高絕緣體擊穿電壓失效分析效率的測試結構及使用方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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