合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置：中冶有色 >

有色技術頻道 >

有色金屬技術

礦山技術

冶金技術

材料制備及加工技術

環境保護技術

分析檢測技術

> 分析檢測技術

> 無損檢測技術

> 晶圓膜厚測量誤差補償方法

晶圓膜厚測量誤差補償方法

1182   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:33
本發明公開了一種晶圓膜厚測量誤差補償方法。本發明以線性擬合結果作為初始猜想,采用多變量優化擬合總光程差曲線,從而得到更接近真實情況的WLRS。白光反射動態測量是廣泛使用的非接觸方法之一，白光反射率譜對薄膜厚度進行測量。這種方法具有無損傷，響應快，以及測量結果準確度高等優點。一束白光由點A近垂直入射待測薄膜，在S1和S2表面經過數次折射及反射后，其相位發生變化，進而形成其相應的WLRS并在信號采集區顯示。WLRS與待測薄膜的厚度之間存在著一一對應關系。由此，可根據上述原理對基層表面的薄膜厚度進行非接觸式的測量。
登錄解鎖全文
聲明：
“晶圓膜厚測量誤差補償方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標簽：
無損檢測
上一個：基于介質頻散差異的電磁波探測方法及裝置
下一個：紫外輻照度測試裝置

與 “晶圓膜厚測量誤差補償方法” 相關技術

? 機制砂反擊式破碎機的除塵控制方法
? 用于地質勘察的碎石裝置
? TA10鈦合金-2205雙相不銹鋼復合板爆炸焊接方法
? 提高柔性超薄玻璃抗彎強度的鍍膜材料及其鍍膜方法
? 礦用車載氣動設備遠程控制裝置
? 礦用車橋大壁厚軸頭環縫窄間隙焊接方法
? 礦用車輛多擋位輪邊驅動總成及其換擋驅動方法
? 基于視覺及雷達融合的礦用車輛安全行駛檢測系統
? 用于礦用車的無人駕駛系統及礦用車
? 礦用車的能量管理方法、裝置、礦用車和存儲介質

相關無損檢測設備推薦

全自動拉伸試驗機（100kN）
電動臥式拉力測試臺
鋁塑膜高低溫拉力試驗機
高智能土壤環境測試及分析評估系統 托普 TPY-9PC
100T型微機電液伺服拉力試驗機
全國熱門有色金屬技術推薦
江蘇通用技術 北京礦山技術 江蘇冶金技術 北京冶金技術 江蘇材料制備及加工技術 常州材料制備及加工技術 江蘇新能源材料技術 江蘇加工技術 北京材料制備及加工技術 福建材料制備及加工技術 江蘇環境保護技術 江蘇廢水處理技術 江蘇固/危廢處置技術 北京環境保護技術 北京廢水處理技術
展開更多 +

 

中冶有色技術平臺

最新更新技術

?機制砂反擊式破碎機的除塵控制方法
?用于地質勘察的碎石裝置
?TA10鈦合金-2205雙相不銹鋼復合板爆炸焊接方法
?提高柔性超薄玻璃抗彎強度的鍍膜材料及其鍍膜方法
?礦用車載氣動設備遠程控制裝置
?礦用車橋大壁厚軸頭環縫窄間隙焊接方法
?礦用車輛多擋位輪邊驅動總成及其換擋驅動方法
?基于視覺及雷達融合的礦用車輛安全行駛檢測系統
?用于礦用車的無人駕駛系統及礦用車
?礦用車的能量管理方法、裝置、礦用車和存儲介質

報名參會
更多+

第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
2025年07月11日 ~ 13日
2025全國有色金屬材料加工與成形技術交流大會
2025全國有色金屬材料加工與成形技術交流大會
2025年07月16日 ~ 18日
2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
2025年07月16日 ~ 18日
第二屆全國海洋工程及船舶材料技術交流會
第二屆全國海洋工程及船舶材料技術交流會
2025年07月18日 ~ 20日
第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025年07月23日 ~ 26日

報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取
下載:139
2 取、制樣安全淺析
下載:131
3 取、制樣現狀及未來規劃/需求
下載:108
4 自動化樣品制備助力準確高效的礦
下載:99
5 樣品變質引起采制樣和結算問題
下載:96
6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點
下載:95
7 礦產品人工取樣方案的制定及案例
下載:93
8 用于X熒光分析的樣品前處理及其
下載:91
9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿
下載:90
10 非常規礦產品取制樣方法的探討
下載:89
赤泥綜合利用研究報告2025
推廣

熱門技術
更多+

1防爆閥保護膜
2壓力平衡機構
3水電站的尾水預埋件
4化工礦產有色金屬的檢測機構
5礦石分類與實時定量分析的光譜檢測新方法
6礦石中有色金屬成分和含量的檢測裝置
7有色金屬現貨狀態評估系統及方法
8有色金屬廢料中鐵磁性雜質檢測設備及檢測工藝
9高溫熔體緩冷裝置及渣包測溫方法
10便攜式礦山測量激光儀
衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環磨科技控股（集團）有限公司
宣傳

發布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話：
010-88793500-807
專利人/作者信息登記
在线精品视频播放|无码 有码 国产18p|宅男精品一区在线观看|伊人色综合久久天天人手人婷|亚洲熟肥妇女BBXX