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差動共焦干涉元件多參數測量方法與裝置

1065   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:32
本發明屬于光學精密測量技術領域,涉及一種差動共焦(共焦)干涉元件多參數測量方法與裝置。本發明的核心思想是利用差動共焦(共焦)測量系統測量球面元件表面曲率半徑、透鏡頂焦距、透鏡折射率、透鏡厚度以及鏡組軸向間隙,利用面形干涉測量系統測量元件表面面形,可實現元件多個參數的同時測量,測量精度高。本發明首次將差動共焦(共焦)探測系統和面形干涉測量系統相融合,測量參數全面,且在元件多個參數測量過程中,無需重新調整光路,拆卸被測元件,對被測元件無損傷,測量速度快。
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聲明：
“差動共焦干涉元件多參數測量方法與裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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