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激光加工檢測裝置及方法、激光加工設備及調焦控制方法

878   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:22
本申請提供一種激光加工檢測裝置及方法、激光加工設備及調焦控制方法，涉及激光加工技術領域，能夠在對被加工件進行無損的精密加工時，對被加工件加工表面進行瞬態過程的高時間分辨能力的檢測成像。包括第一激光束，通過第一偏振旋轉器的激光束經第一合光鏡透射后用于射向被加工件進行激光加工。第二超短脈寬激光束和第三超短脈寬激光束分別經衍射光柵后通過第二合光鏡合束，并通過第二偏振旋轉器后在第一合光鏡與第一激光束合束入射被加工件，被加工件反射的合束激光束經過第一合光鏡分離第一激光束后經第二偏振旋轉器再由第二合光鏡分束為第二超短脈寬激光束和第三超短脈寬激光束，分別入射接收器和經衍射光柵后入射接收器。
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“激光加工檢測裝置及方法、激光加工設備及調焦控制方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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