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針對大口徑深矢高的光學自由曲面檢測方法及裝置

850   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:16
一種大口徑深矢高的自由曲面檢測方法及裝置，屬于光學測量技術領域，為了解決現有技術對非對稱大尺寸光學自由曲面的非接觸無損檢測方法存在的問題，該方法是通過設計時被測自由曲面的公式與STL模型結合，將被測自由曲面用一系列三角面片離散地近似構成三維區域曲面；然后根據曲率劃分區域，再通過已知的被測自由曲面公式對各個區域進行計算，繪圖得到八位灰度圖，再對ZYGO干涉儀的光束進行編碼，編碼方式與繪制八位灰度方式相對應；通過對ZYGO干涉儀的光束編碼后可使液晶空間光調制器對其相應的區域進行測量；本發明檢測效率高、成本低、并且具有體積小、精度高、便于控制等優點；該方法將在大型的光學系統檢測中具有廣泛的應用前景。
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