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基于雙目機器視覺的球柵陣列半導體器件品質檢測系統

889   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:07
一種基于雙目機器視覺的球柵陣列半導體器件品質檢測系統,由光學成像和圖像采集兩部分組成,被測球柵陣列半導體器件放置在載物臺上,兩個CCD攝像機分別設置在光學顯微鏡的正上方和被測器件側面,每一個CCD攝像機配置一套光源,兩個CCD攝像機多角度采集的半導體器件圖像信息,通過高速圖像采集卡傳送到計算機,經處理后得到器件檢測需要的各項數據,進行器件的品質的評定。本發明采用軟件信號觸發控制圖像采集、雙CCD攝像機和彩色圖像處理技術,實現對球柵陣列半導體器件品質的高速、高分辨率無損傷檢測,滿足在線實時檢測的需要。
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