本發明公開了一種無損檢測產品表面顆粒污染物的裝置,包括密閉耐壓容器,用于提供容置所述待測產品的密閉的收容空間;壓縮空氣供給設備,通過第一連接管與所述密閉耐壓容器連接,用于將可使得所述顆粒污染物脫離所述待測產品的壓縮空氣送入所述密閉耐壓容器;空氣擴散器,通過第二連接管與所述密閉耐壓容器連接,用于將所述壓縮空氣的流量調節至便于空氣粒子計數儀檢測的額定值;所述空氣粒子計數儀,通過第三連接管與所述空氣擴散器連接,用于檢測流出所述空氣擴散器的壓縮空氣中單位體積內顆粒污染物的粒子數和粒徑分布。由此,可以實現對待測產品表面的顆粒污染物(尤其是亞微米級疏松顆粒污染物)進行無損準確的定量測量。
聲明:
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