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基于陷阱俘獲載流子機理下對柔性薄膜晶體管內部缺陷進行無損電學檢測的方法

764   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:57:42
一種基于陷阱俘獲載流子機理下對柔性薄膜晶體管內部缺陷進行無損電學檢測的方法屬于半導體器件檢測領域。所述方法通過檢測陷阱俘獲載流子的情況，得到器件的電流值隨時間變化，經過一系列的數學處理后，最終實現對柔性薄膜晶體管內部缺陷的無損電學檢測。首先，在柔性薄膜晶體管開態情況下，對器件不同電極上施加電壓，對器件陷阱俘獲載流子的情況進行檢測，得到IDS?time的瞬態電流曲線；在器件處于關態情況下，檢測陷阱俘獲載流子的情況；將提取得到的陷阱時間常數譜，結合提取出陷阱的激活能，最終確定柔性薄膜晶體管的陷阱位置。本發明所述的方法設備簡單、操作方便，在無需增加額外設備即可實現對柔性薄膜晶體管內部缺陷的無損電學檢測。
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