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摻氮的Sb納米相變薄膜材料及其制備方法與用途

1243   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:57:02
本發明屬于半導體材料領域，公開了一種摻氮的Sb納米相變薄膜材料，其化學組成通式為SbNx，其中Sb代表銻元素，N代表氮原子，x代表不同的摻氮量標記，x＝1、2或3；經EDS測定，x＝1時摻入的氮原子百分比為9.6％,x＝2時摻入的氮原子百分比為15.3％；x＝3時摻入的氮原子百分比為22.5％。本發明的摻氮的Sb材料較好的解決了純Sb材料的缺點和不足。通過摻入不同的氮原子，使Sb的晶化溫度有了明顯的提高，數據保持能力得到加強，因而提高了其穩定性。同時通過晶態電阻的提高，使得其RESET功耗降低了。
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聲明：
“摻氮的Sb納米相變薄膜材料及其制備方法與用途” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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