合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置：中冶有色 >

有色技術頻道 >

有色金屬技術

礦山技術

冶金技術

材料制備及加工技術

環境保護技術

分析檢測技術

> 分析檢測技術

> 化學分析技術

> 具有埋層二氧化硅的壓力傳感器生產工藝

具有埋層二氧化硅的壓力傳感器生產工藝

1138   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:56:59
具有埋層二氧化硅的壓力傳感器生產工藝，包括，首先選定待注入的硅片基體，然后對硅片基體進行高能氧離子注入，然后將注入高能氧離子的硅片基體進行高溫退火，形成20-30nm厚度的二氧化硅埋層，然后對表層進行等離子體增強化學氣相沉積SiN，形成SiN沉積表層，然后將具有SiN沉積表層的硅片基體進行反應離子RIE刻蝕引線孔；形成空氣隔離的低溫壓敏電阻，然后對硅片基體的下部區域進行厚度上的減薄，同時對引線孔進行引線連接形成惠斯通電橋。本發明提供的新型的二氧化硅埋層的壓力傳感器生產工藝，在單晶硅材料中形成埋層二氧化硅，用以隔離作為測量電路的頂部硅層與體硅之間因溫度升高而造成的漏電流，具有耐高溫、低壓、低功耗的優勢。
登錄解鎖全文
聲明：
“具有埋層二氧化硅的壓力傳感器生產工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標簽：
化學分析
上一個：煙葉絲干燥機控制系統及其方法
下一個：磷酸鋇鉀化合物晶體和制備方法以及用途

與 “具有埋層二氧化硅的壓力傳感器生產工藝” 相關技術

? 機制砂反擊式破碎機的除塵控制方法
? 用于地質勘察的碎石裝置
? TA10鈦合金-2205雙相不銹鋼復合板爆炸焊接方法
? 提高柔性超薄玻璃抗彎強度的鍍膜材料及其鍍膜方法
? 礦用車載氣動設備遠程控制裝置
? 礦用車橋大壁厚軸頭環縫窄間隙焊接方法
? 礦用車輛多擋位輪邊驅動總成及其換擋驅動方法
? 基于視覺及雷達融合的礦用車輛安全行駛檢測系統
? 用于礦用車的無人駕駛系統及礦用車
? 礦用車的能量管理方法、裝置、礦用車和存儲介質

相關化學分析設備推薦

泵吸式氣體檢測儀
600kn液壓試驗臺
高荷重精密彈簧試驗機
數顯測力計
精密管材多頻渦流自動探傷檢測系統
全國熱門有色金屬技術推薦
江蘇通用技術 北京礦山技術 江蘇冶金技術 北京冶金技術 江蘇材料制備及加工技術 常州材料制備及加工技術 江蘇新能源材料技術 江蘇加工技術 北京材料制備及加工技術 福建材料制備及加工技術 江蘇環境保護技術 江蘇廢水處理技術 江蘇固/危廢處置技術 北京環境保護技術 北京廢水處理技術
展開更多 +

 

中冶有色技術平臺

最新更新技術

?機制砂反擊式破碎機的除塵控制方法
?用于地質勘察的碎石裝置
?TA10鈦合金-2205雙相不銹鋼復合板爆炸焊接方法
?提高柔性超薄玻璃抗彎強度的鍍膜材料及其鍍膜方法
?礦用車載氣動設備遠程控制裝置
?礦用車橋大壁厚軸頭環縫窄間隙焊接方法
?礦用車輛多擋位輪邊驅動總成及其換擋驅動方法
?基于視覺及雷達融合的礦用車輛安全行駛檢測系統
?用于礦用車的無人駕駛系統及礦用車
?礦用車的能量管理方法、裝置、礦用車和存儲介質

報名參會
更多+

第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
2025年07月11日 ~ 13日
2025全國有色金屬材料加工與成形技術交流大會
2025全國有色金屬材料加工與成形技術交流大會
2025年07月16日 ~ 18日
2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
2025年07月16日 ~ 18日
第二屆全國海洋工程及船舶材料技術交流會
第二屆全國海洋工程及船舶材料技術交流會
2025年07月18日 ~ 20日
第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025年07月23日 ~ 26日

報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取
下載:139
2 取、制樣安全淺析
下載:131
3 取、制樣現狀及未來規劃/需求
下載:108
4 自動化樣品制備助力準確高效的礦
下載:99
5 樣品變質引起采制樣和結算問題
下載:96
6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點
下載:95
7 礦產品人工取樣方案的制定及案例
下載:93
8 用于X熒光分析的樣品前處理及其
下載:91
9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿
下載:90
10 非常規礦產品取制樣方法的探討
下載:89
赤泥綜合利用研究報告2025
推廣

熱門技術
更多+

1防爆閥保護膜
2壓力平衡機構
3水電站的尾水預埋件
4化工礦產有色金屬的檢測機構
5礦石分類與實時定量分析的光譜檢測新方法
6礦石中有色金屬成分和含量的檢測裝置
7有色金屬現貨狀態評估系統及方法
8有色金屬廢料中鐵磁性雜質檢測設備及檢測工藝
9高溫熔體緩冷裝置及渣包測溫方法
10便攜式礦山測量激光儀
衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環磨科技控股（集團）有限公司
宣傳

發布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話：
010-88793500-807
專利人/作者信息登記
在线精品视频播放|无码 有码 国产18p|宅男精品一区在线观看|伊人色综合久久天天人手人婷|亚洲熟肥妇女BBXX