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改善單拋機拋后硅片塌邊的拋光工藝

1228   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:28:35
本發明公開了一種改善單拋機拋后硅片塌邊的拋光工藝，其實驗工藝包括以下步驟：S1、首先將拋光液、清洗劑、活性劑、氫氧化鉀溶液按照組分的重量份比稱取各相應比例的組分，并放置到相應的儲存器皿內部進行備用，使用單拋機系列，并在拋光前檢查設備狀態，保證無異常后進行工藝調節，可根據不同的來料類型，設定不同的加工工藝，運用兩到不同拋頭進行加工，S2、然后通過將第一個拋頭設定為粗拋，粗拋墊型號、拋光液型號根據產品的加工要求可自行選擇，粗拋墊隨著加工壽命的減少，在拋頭壓力的作用下，中心部位的磨損程度會大于邊緣部位，在粗拋工藝中加入一定配比的氫氧化鉀溶液，可以加快化學反應速率。
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“改善單拋機拋后硅片塌邊的拋光工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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