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優化冗余圖形的方法

1097   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:17:28
本發明提供了一種冗余圖形添加優化的算法，包括：查找出版圖圖形的正向異常的區域和負向異常的區域；對正向異常的區域的圖形進行正向異常區域的冗余圖形的優化和負向異常的區域的圖形進行負向異常區域的冗余圖形的優化；化學機械平坦化模型預測優化后的冗余圖形的表面形貌；若預測的表面形貌達到設定值，則對版圖中添加的冗余圖形優化成功。本發明優化了已有冗余圖形，并且將化學機械平坦化模型預測優化后的冗余圖形的表面形貌作為添加的冗余圖形的反饋手段，可以對不同產品間各層次的版圖局部圖形分布的均勻性進行優化，進而提高冗余圖形添加的優化效果，提高工藝加工后各層次表面形貌的均勻性，降低后續制造工藝的工藝缺陷。
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