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真空泵、主傳感器及螺紋槽定子

912   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:36:51
本發明提供具備即使在不能確定流路內的析出物的化學組成的情況下也能夠檢測析出物在流路內堆積至既定的厚度的傳感器的真空泵。真空泵（1）具有在其間形成有內部流路的旋轉部及固定部、將氣體從吸入口穿過內部流路送向排氣口的排氣機構、用于檢測堆積物在內部流路的檢測對象位置達到既定的厚度的主傳感器（42），主傳感器（42）具有以與既定的厚度對應的間隔配置于內部流路的至少一對電極（54、56）、與一對電極（54、56）連接來檢測一對電極（54、56）間的靜電容量的靜電容量檢測回路（46），靜電容量檢測回路（46）基于靜電容量的增加率下降判定成內部流路內的堆積物達到既定的厚度。
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“真空泵、主傳感器及螺紋槽定子” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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