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電容器結構及其形成方法、半導體裝置及其制造方法

896   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:36:10
公開了電容器結構及其形成方法以及半導體裝置及其制造方法。所述電容器結構可以包括位于基底上的下電極、位于基底上的介電層以及位于介電層上的上電極。下電極可以包括具有化學式M1Ny(M1是第一金屬，y是正實數)的金屬氮化物。介電層可以包括金屬氧化物和氮(N)，金屬氧化物具有化學式M2Ox(M2是第二金屬，x是正實數)。介電層中的氮(N)的檢測量的最大值可以比下電極中的氮(N)的檢測量的最大值大。
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