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用于測量半導體晶片溫度的傳感器位置調整裝置及其方法

1174   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:29:10
本發明涉及一種用于測量半導體晶片溫度的傳感器位置調整裝置及其方法，其中，裝置包括：支架；第一固定部件，其插入至形成于支架的第一結合孔；第二固定部件，其插入至形成于支架的第二結合孔，對溫度傳感器進行固定；位置調整部件，其設置于第二固定部件下面，對溫度傳感器進行固定支撐；溫度傳感器；夾具，用于對溫度傳感器的感知位置進行調整；控制器，其設置有晶片表面監控系統，晶片表面監控系統將溫度傳感器拍攝的表面溫度分為多個頻道并通過顯示器顯示。本發明的優點在于，在從半導體晶片表面去除金屬污染物質和有機污染物質的過程中，實時識別到晶片表面由于化學反應和摩擦達到一定溫度以上，從而使得晶片不良率減少，進而提高收率。
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