合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置：中冶有色 >

有色技術頻道 >

有色金屬技術

礦山技術

冶金技術

材料制備及加工技術

環境保護技術

分析檢測技術

> 分析檢測技術

> 化學分析技術

> 基于Compact Particle Swarm Optimization算法的光刻機掩模臺微動臺的機械參數軟測量方法

基于Compact Particle Swarm Optimization算法的光刻機掩模臺微動臺的機械參數軟測量方法

1130   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:25:59
基于Compact?Particle?Swarm?Optimization算法的光刻機掩模臺微動臺的機械參數軟測量方法，屬于半導體制造裝備技術領域及機械參數測量領域。為了解決現有工件臺微動部分機械參數估計算法精度差的問題。所述方法包括如下步驟：步驟一：根據掩模臺微動臺的機械機構及其理論設計，建立微動臺的理想運動學模型，確定待測機械參數，建立掩模臺微動臺含差模型；步驟二：給定位置輸入，驅動微動臺運動產生位移，將實際輸出位移與通過建立的掩模臺微動臺含差模型計算出的輸出位移值做差，作為尋優的目標函數；步驟三：根據目標函數，利用Compact?Particle?Swarm?Optimization優化學習算法確定待辨識的機械參數。它用于微動臺的機械參數求取。
登錄解鎖全文
聲明：
“基于Compact Particle Swarm Optimization算法的光刻機掩模臺微動臺的機械參數軟測量方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標簽：
化學分析
上一個：氧/碘超音速混合熱流場測試裝置
下一個：基于Compact Differential Evolution算法的光刻機掩模臺微動臺的機械參數軟測量方法

與 “基于Compact Particle Swarm Optimization算法的光刻機掩模臺微動臺的機械參數軟測量方法” 相關技術

? 機制砂反擊式破碎機的除塵控制方法
? 用于地質勘察的碎石裝置
? TA10鈦合金-2205雙相不銹鋼復合板爆炸焊接方法
? 提高柔性超薄玻璃抗彎強度的鍍膜材料及其鍍膜方法
? 礦用車載氣動設備遠程控制裝置
? 礦用車橋大壁厚軸頭環縫窄間隙焊接方法
? 礦用車輛多擋位輪邊驅動總成及其換擋驅動方法
? 基于視覺及雷達融合的礦用車輛安全行駛檢測系統
? 用于礦用車的無人駕駛系統及礦用車
? 礦用車的能量管理方法、裝置、礦用車和存儲介質

相關化學分析設備推薦

高智能多參數土壤肥料養分檢測儀
非標定制萬能試驗機
電子數顯萬能材料試驗機
龍門布氏硬度計
CEMS煙塵煙氣在線監測系統
全國熱門有色金屬技術推薦
江蘇通用技術 北京礦山技術 江蘇冶金技術 北京冶金技術 江蘇材料制備及加工技術 常州材料制備及加工技術 江蘇新能源材料技術 江蘇加工技術 北京材料制備及加工技術 福建材料制備及加工技術 江蘇環境保護技術 江蘇廢水處理技術 江蘇固/危廢處置技術 北京環境保護技術 北京廢水處理技術
展開更多 +

 

中冶有色技術平臺

最新更新技術

?機制砂反擊式破碎機的除塵控制方法
?用于地質勘察的碎石裝置
?TA10鈦合金-2205雙相不銹鋼復合板爆炸焊接方法
?提高柔性超薄玻璃抗彎強度的鍍膜材料及其鍍膜方法
?礦用車載氣動設備遠程控制裝置
?礦用車橋大壁厚軸頭環縫窄間隙焊接方法
?礦用車輛多擋位輪邊驅動總成及其換擋驅動方法
?基于視覺及雷達融合的礦用車輛安全行駛檢測系統
?用于礦用車的無人駕駛系統及礦用車
?礦用車的能量管理方法、裝置、礦用車和存儲介質

報名參會
更多+

第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
2025年07月11日 ~ 13日
2025全國有色金屬材料加工與成形技術交流大會
2025全國有色金屬材料加工與成形技術交流大會
2025年07月16日 ~ 18日
2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
2025年07月16日 ~ 18日
第二屆全國海洋工程及船舶材料技術交流會
第二屆全國海洋工程及船舶材料技術交流會
2025年07月18日 ~ 20日
第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025年07月23日 ~ 26日

報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取
下載:139
2 取、制樣安全淺析
下載:131
3 取、制樣現狀及未來規劃/需求
下載:108
4 自動化樣品制備助力準確高效的礦
下載:99
5 樣品變質引起采制樣和結算問題
下載:96
6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點
下載:95
7 礦產品人工取樣方案的制定及案例
下載:93
8 用于X熒光分析的樣品前處理及其
下載:91
9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿
下載:90
10 非常規礦產品取制樣方法的探討
下載:89
赤泥綜合利用研究報告2025
推廣

熱門技術
更多+

1防爆閥保護膜
2壓力平衡機構
3水電站的尾水預埋件
4化工礦產有色金屬的檢測機構
5礦石分類與實時定量分析的光譜檢測新方法
6礦石中有色金屬成分和含量的檢測裝置
7有色金屬現貨狀態評估系統及方法
8有色金屬廢料中鐵磁性雜質檢測設備及檢測工藝
9高溫熔體緩冷裝置及渣包測溫方法
10便攜式礦山測量激光儀
衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環磨科技控股（集團）有限公司
宣傳

發布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話：
010-88793500-807
專利人/作者信息登記
在线精品视频播放|无码 有码 国产18p|宅男精品一区在线观看|伊人色综合久久天天人手人婷|亚洲熟肥妇女BBXX