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TSV電鍍銅填充效果的測試方法

1100   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:24:15
一種TSV電鍍銅填充效果的測試方法屬于材料制備與連接領域。包括步驟1：將化學機械拋光后的TSV晶圓樣品切割取樣，并將取自晶圓上不同區域的TSV樣品置于坩堝中；步驟2：隨后將坩堝放入管式爐中，并在管式爐中通入氬氣作為保護氣體；以10℃/min的升溫速度將管式爐中的溫度升至后保溫；保溫過程完成后，關閉管式爐加熱裝置，保持樣品仍然在氬氣保護下放置于管式爐的石英管中。打開管式爐保溫爐蓋，將石英管以及其中的TSV樣品進行空氣冷卻。步驟3：當管式爐中的溫度降低至室溫后，解除石英管的密封狀態，將石英管中的樣品取出，在金相顯微鏡下觀察。本發明分析周期短，有效方便、費用低，可以節約時間和成本。
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