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平板間微納液膜厚度測試調平方法和裝置

1033   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:24:13
一種平板間微納液膜厚度測試調平方法和裝置，屬于特種加工技術領域，特別涉及電化學加工中工具電極和工件之間微納液膜厚度的測試和調平。其特征是通過擠壓液膜阻力測試結合擠壓膜模型分析獲得液膜厚度和傾角。具體步驟為在隔振臺上安裝有角度微調平臺，在該平臺上安裝有底座和側壁可分離的電解池，工具電極通過力傳感器和宏微復合進給機構相連，進行測試時，控制工具電極進行小幅低頻振動，通過力傳感器測得擠壓膜阻力，測試四種不同姿態下的力信號，基于擠壓膜原理獲得液膜厚度和傾角，根據測量值調平工具電極，重復上述過程可校準粘度，提高測試和調平精度。本發明的效果和益處是：結構簡潔，測試不受電解液透明度和導電性變化的影響。
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