本發明公開了一種硅基材料中硅含量和氧含量的測試方法及測試裝置,涉及材料、新能源領域。測試方法包括將硅基材料和反應溶液先后放入密閉反應器中,通過壓力傳感器監測密閉反應器中氣體的壓力變化,根據密閉反應器內腔的容積、溫度和氣體壓力變化,利用氣態方程得到氣體摩爾數,進而根據硅基材料和反應溶液的化學反應方程式得到反應消耗的未氧化的硅含量,隨后根據硅基材料初始質量得到完全氧化的硅含量,根據硅基材料的化學式得到其氧含量,進而得到硅基材料的硅氧比例。本發明利用氣體壓力與硅基材料成分敏感的特性,實現了低成本、高精度的硅基材料中硅、氧含量測試。
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