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化學機械研磨設備機臺監控系統

863   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:03:21
本發明是化學機械研磨設備機臺監控系統，其結構包括主控模塊和分別與主控模塊信號連接的閾值設定模塊、數值顯示模塊、報警模塊、信號轉換模塊和監控傳感器。本發明的優點：基于PLC開發，是多通道、多類型的信號采集、對比的報警系統。在機臺上增加偵測、報警機制，對生產中可能會產生的問題進行提前預防和報警，保證產品質量穩定性。功能多樣、數據采集點多、系統集成度高，可以方便移植到其他類似機臺上。
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聲明：
“化學機械研磨設備機臺監控系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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