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化學氣相沉積中襯底溫度的控制方法

1188   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:02:29
本發明涉及一種化學氣相中沉積襯底溫度的控制方法，所述控制方法用于對穩定時間段的所述襯底溫度進行控制，在所述穩定時間段內所述襯底溫度處于相對穩定狀態且其波動幅度不超過一允許溫度值T，所述控制方法包括在所述時間段內，調節加熱單元的溫度在初始時刻t得到一穩定值Tsp1，同時獲得一個所述襯底溫度的初始測量值Ts1，在改變反應條件后，獲得所述襯底溫度在下一時刻t+Δt的新測量值Ts2，并由所述Ts1，所述Ts2和所述Tsp1計算得到所述下一時刻的所述穩定值Tsp2。本發明避免了因所述襯底溫度的測量誤差引起的無法對所述襯底溫度進行精確控制的問題，能夠對時間段的襯底溫度進行精確可靠的控制。
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聲明：
“化學氣相沉積中襯底溫度的控制方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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