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電化學淀積結果確定方法

986   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:00:50
本發明提供一種電化學淀積結果確定方法，將設計有溝槽的晶圓介質表面進行版圖網格劃分，根據測量獲得所述網格內所有圖形的特征參數，確定所述網格版圖特征，根據當前計算網格及周圍網格的版圖特征，對網格版圖電化學淀積最終形貌所屬填充類型進行判定，根據電化學淀積金屬工藝參數和所述網格版圖所屬類型，確定與版圖特征相關的修正因子，計算網格內金屬淀積量V、非溝槽區域介質表面金屬厚度H和圖形中溝槽區域溝槽與非溝槽區域金屬表面高度差S，確定網格內金屬的電化學淀積結果。本發明的方法通過引入與版圖特征相關的修正因子，能夠比較準確地預測電化學淀積后晶圓表面的淀積結果。
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