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化學氣相沉積爐漏氣處理裝置

859   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:00:44
本實用新型涉及化學氣相沉積設備技術領域，尤其涉及一種化學氣相沉積爐漏氣處理裝置，解決現有技術中存在的缺點，包括爐體，所述爐體的外部包裹有隔熱層，所述隔熱層的外部包裹有防漏氣包裹層，所述防漏氣包裹層的一側通過法蘭盤固定連接有抽氣管，且防漏氣包裹層上開設有若干個通孔，在漏氣時由于防漏氣包裹層與爐體之間為真空狀態，當氣體泄露時，會在泄露區域內使對應的氣囊充氣鼓起，便于技術人員尋找爐體的漏氣點，具有較強的實用性，沉積爐正常工作時氣囊收納在通孔的內部，漏氣時氣囊充氣膨脹至通孔的外部，紅外傳感器能夠在第一時間檢測到氣體泄露，進而發出警報提示工作人員。
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聲明：
“化學氣相沉積爐漏氣處理裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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