本實用新型公開了一種晶圓裝載裝置和化學機械拋光系統,所述晶圓裝載裝置包括:底座;托架,位于底座上方并能夠豎向移動以裝載和/或卸載晶圓;檢測單元,設置于所述托架的外周側,其包括擺動組件和檢測件,所述擺動組件從所述托架的邊緣向托架的中心延伸,所述擺動組件隨著其上是否裝載晶圓處于不同位置,所述檢測件用于檢測擺動組件的位置。
聲明:
“晶圓裝載裝置和化學機械拋光系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)