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晶圓裝載裝置和化學機械拋光系統

884   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:58:11
本實用新型公開了一種晶圓裝載裝置和化學機械拋光系統，所述晶圓裝載裝置包括：底座；托架，位于底座上方并能夠豎向移動以裝載和/或卸載晶圓；檢測單元，設置于所述托架的外周側，其包括擺動組件和檢測件，所述擺動組件從所述托架的邊緣向托架的中心延伸，所述擺動組件隨著其上是否裝載晶圓處于不同位置，所述檢測件用于檢測擺動組件的位置。
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聲明：
“晶圓裝載裝置和化學機械拋光系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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