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柔軟且可修整的化學機械窗口拋光墊

858   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:57:22
柔軟且可修整的化學機械窗口拋光墊.本發明提供了一種化學機械拋光墊，其包括：拋光層、塞入性終點檢測窗口塊體、剛性層以及將所述拋光層與剛性層粘結的熱熔粘合劑，其中所述拋光層包含以下組分的反應產物，所述組分包括：多官能異氰酸酯和固化劑包裝，所述固化劑包裝包含胺引發的多元醇固化劑和高分子量多元醇固化劑，其中，所述拋光層的密度大于0.6克/厘米3，肖氏D硬度為5-40，斷裂伸長率為100-450％，切割速率為25-150微米/小時；以及其中所述拋光層具有適合用來對基材進行拋光的拋光表面。本發明還提供了制備和使用化學機械拋光墊的方法。
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