本實用新型提供一種涂膠顯影化學品進液設備的監測工具,包括監測殼體、以及設于監測殼體上的連接機構,監測殼體內設置有控制單元和連接控制單元的入口監測單元、閥門監測單元、液體監測單元以及壓力監測單元;控制單元,用于接收和處理入口監測單元、閥門監測單元、液體監測單元以及壓力監測單元發送的數據;入口監測單元,用于監測設于監測殼體上氣體入口和液體入口開啟關閉監測狀態;閥門監測單元,用于監測設于監測殼體電磁閥開啟閉合狀態;液體監測單元,用于監測通過監測殼體的液體流量;壓力監測單元,用于監測通過監測殼體內的氣體壓力;本實用新型可以便捷的對涂膠顯影設備機組進行監測,降低了設備聯合調試的工作量,提高了設備的生產效率。
聲明:
“涂膠顯影化學品進液設備的監測工具” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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