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化學液體供應系統、測試化學液體方法以及處理半導體晶圓的方法

1100   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:45:17
根據一些實施例，提供一種化學液體供應系統、測試化學液體方法以及用于處理半導體晶圓的方法。用于處理半導體晶圓的方法包含將儲存化學液體的缸筒與測試管相連接。此方法亦包含將缸筒中的化學液體引導進入測試管。此外，此方法包含檢測測試管中的化學液體的條件。此方法進一步包含決定是否可接受化學液體的條件。當可接受化學液體的條件時，將化學液體供應至處理半導體晶圓的處理工具處。
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