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檢測窗口的保護裝置及一種化學氣相沉積機臺

882   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:44:48
本實用新型涉及半導體制造技術領域，尤其涉及一種檢測窗口的保護裝置及一種化學氣相沉積機臺，一對檢測窗口設置于連接反應腔室的一氣體傳輸管道的兩側，在反應腔室啟動一清潔程序時，一檢測裝置通過一對檢測窗口檢測反應腔室內的氣體濃度，一對檢測窗口包括一第一檢測窗口和一第二檢測窗口；保護裝置用于將兩個檢測窗口與氣體傳輸管道內的氣體隔離，保護裝置包括：一第一隔離閥，設置于第一檢測窗口與氣體傳輸管道之間；一第二隔離閥，設置于第二檢測窗口與氣體傳輸管道之間。有益效果：使用兩個隔離閥可以使兩個檢測窗口完全隔離反應氣體，避免在不執行清潔程序時反應氣體附著在檢測窗口的表面，提高檢測窗口的使用壽命，以及提高清潔的效果。
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“檢測窗口的保護裝置及一種化學氣相沉積機臺” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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