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能檢測腐蝕性氣體的化學過濾器

1126   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:42:46
本實用新型公開了一種能檢測腐蝕性氣體的化學過濾器，包括過濾器本體，過濾器本體包括設有通道結構的框架、對流經通道結構的氣流進行過濾的過濾單元、與流經通道結構的腐蝕性氣體接觸的腐蝕試片以及檢測腐蝕試片電性能參數的檢測單元。本實用新型根據檢測單元檢測腐蝕試片的電性能參數變化，進而確定腐蝕試片所接觸的氣流是否含有腐蝕性氣體，如含有腐蝕性氣體，可及時停止化學過濾器所對應FFU及其下方的機臺的工作，防止更大量的腐蝕性氣體進入潔凈空間中及位于被污染FFU下方機臺上產品被污染，由于FFU基本布滿潔凈空間的上方且不同腐蝕試片接觸不同通道結構的氣流，因此，能夠實現檢測的全面性和準確性。
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“能檢測腐蝕性氣體的化學過濾器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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