一種多晶硅尾氣噴淋塔,包括塔體,塔體上設置有進氣口、出氣口、出液口,一噴淋管穿過塔體置于噴淋腔中上部,所述噴淋管末端還設置有葉片式湍流發生器,本實用新型中,噴淋液經噴淋管至葉片式湍流發生器產生湍流,使得噴淋液噴淋均勻(產生的湍流與進氣口的廢氣充分混合),同時也加長了水與三氯氫硅等氣體接觸的時間,使得三氯氫硅等氣體水解更充分,大大提高了工作效率,克服了堵管情況的發生,降低爆管等危險事故的發生。
聲明:
“多晶硅尾氣噴淋塔” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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