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加熱器底座及加熱器

866   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:14:03
本實用新型公開了一種加熱器底座,包括座體,所述座體內開有兩個供加熱導體穿越的第一通孔、供接地導體穿越的第二通孔,所述座體的下部對應所述第二通孔的部分開有用于露出所述接地導體下部的凹口。還公開了一種采用上述底座的加熱器。通過在加熱器的底座的下部對應所述第二通孔的部分開有用于露出所述接地導體下部的凹口,從而騰出空間在接地導體的外圖繞置金屬片,并金屬線將金屬片和底座相連從而有效增大了接地導體的接地面積,有效減少了接地導體發生電弧放電的概率,進而有效避免了高頻發生器反射能量的不穩定造成晶圓報廢的危險。同時,也減少更換零部件的成本,減少更換零部件的維修時間,有效提高了生產效率。
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“加熱器底座及加熱器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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