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一種芯片制程中環境友好的定影方法

926   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:13:02
本發明提供了一種芯片制程中環境友好的定影方法，包括：顯影去除硅片上未曝光的光刻膠，定影除去上述工序中殘留顯影液及少量雜質。所述顯影液為芯片行業通用顯影液，即碳氫溶劑，顯影溫度25℃，顯影時間一分鐘，定影液為純水，或純水中復配少許醇類溶劑、醇醚類溶劑、醇醚酯溶劑、酮類溶劑及有一定揮發性的表面活性劑、非離子表面活性劑。該發明拋棄了目前行業中通用的常規有機定影液技術，而采用水性物質作為定影液，不但大大降低了常規定影液的采購成本及由此產生的危險廢棄物處理成本，而且減少了芯片行業VOC的排放量，為環境友好、環?？沙掷m發展做出了一定貢獻，具有較高的經濟效益和社會效益。
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