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一種半導體廢氣處理設備止回閥

948   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:04:52
本實用新型涉及廢氣處理設備技術領域，具體為一種半導體廢氣處理設備止回閥，包括上蓋和下蓋，上蓋和下蓋的中部貫穿設置通孔，所述上蓋靠近下蓋的外側突出設置上凸起，所述下蓋在靠近上蓋的外側突出設置下凸起，本實用新型的有益效果是：本止回閥因其在等壓環境下為閉合狀態，具有自動復位功能，所以安裝位置及角度不受限制，角度可以隨意安裝，很大程度上提高了實用性能；機臺內安裝位置不受限制，在進口、出口都可安裝，裝在進氣口更加有效的避免氣體逆流引起管路高溫危險；相比傳統的技術，本實用新型通過逆止擋板的設計，可以做到有效密封，避免磨損；本實用新型適用性強，可以更改進出口連接方式進而應用在走水管路中。
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“一種半導體廢氣處理設備止回閥” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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