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一種裝設于半導體廢氣處理設備中的粉塵過濾器

793   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 05:57:19
本發明提供一種裝設于半導體廢氣處理設備中的粉塵過濾器，涉及粉塵過濾器技術領域。該裝設于半導體廢氣處理設備中的粉塵過濾器，包括過濾器外殼，所述過濾器外殼的內部活動安裝有腔體，所述腔體的左側外表面連通有進氣管，所述進氣管的外表面固定安裝有第一氣泵，所述腔體的一側設置有集塵槽，所述集塵槽的內部固定安裝有靜電吸附板。該裝設于半導體廢氣處理設備中的粉塵過濾器，很好地對廢氣中的粉塵進行了過濾，并對粉塵進行收集，防止粉塵對設備內部和外部造成污染，以及對人體造成危害，能夠對集塵槽內部的粉塵進行集中清理，以及便于對該粉塵過濾器進行維護檢修，拆裝簡單便捷。
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“一種裝設于半導體廢氣處理設備中的粉塵過濾器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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