本發明涉及薄膜分離技術領域,尤其是涉及一種濕法腐蝕用裝置,具體公開了一種具有廢氣吸收功能的反應裝置及其使用方法、應用,該裝置包括反應容器和廢氣處理裝置,所述廢氣處理裝置所述廢氣處理裝置包括吸收物料容器和封閉罩,所述反應容器位于吸收物料容器內,所述反應容器與吸收物料容器之間設有封閉罩,所述反應容器封閉在所述封閉罩內,所述封閉罩的下部設有通孔,所述通孔使得吸收物料容器內的廢氣吸收物料在封閉罩內外的兩部分連通。應用本發明裝置能夠將化學反應過程中產生的有害氣體充分吸收,防止對人員和環境造成危害,具有裝置結構簡單、操作方便、成本低的優點,尤其適用于硅的強酸腐蝕。
聲明:
“一種具有廢氣吸收功能的反應裝置及其使用方法、應用” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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