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多級除濕裝置、廢氣處理系統及除濕控制方法

914   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 05:36:46
本發明涉及半導體技術領域，尤其涉及一種多級除濕裝置、廢氣處理系統及除濕控制方法，多級除濕裝置包括殼體和位于殼體內部且沿殼體內的氣體流向依次設置的第一風扇、換熱組件和第二風扇，第一風扇、換熱組件和第二風扇同軸設置。氣體在換熱組件處遇冷降溫，氣體中的水分冷凝，第一風扇與第二風扇增強氣體流動的對流效果，加速氣體的降溫干燥，對氣體達到除濕效果，使排出氣體的達到溫濕度要求。本發明的多級除濕裝置可在不影響負壓的情況下，直接安裝在廢氣處理系統內，達到除濕效果，方便現有設備改造，降低廠務除濕需求更換機臺成本。解決半導體制造過程中對溫濕度方面的要求，提升設備除濕能力，降低廠務端酸排管路積水跌落，高危砸傷風險。
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