本實用新型提供一種三氯氫硅合成爐停爐后廢硅粉回收系統,通過設置進料管線和卸料管線,并借助真空泵,將三氯氫硅合成爐內的廢硅粉輸送至分離器中,一方面,實現了廢硅粉的封閉式回收,避免了硅粉與空氣中氧氣和水分接觸,保證的硅粉的活性,也降低了閃爆的危險,提高安全性;另一方面,降低人工勞動強度,保護了職工身體健康;通過分離器對廢硅粉中的大顆粒的硅粉與小顆粒的硅塵進行分離,將大顆粒的硅粉輸回收至三氯氫硅合成爐內,避免將失去活性的小顆粒硅塵帶入三氯氫硅合成爐內,能夠延長三氯氫硅合成爐的檢修周期;該廢硅粉回收系統結構簡單,易于操作。
聲明:
“三氯氫硅合成爐停爐后廢硅粉回收系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)