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三氯氫硅合成爐停爐后廢硅粉回收系統

1161   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 05:34:50
本實用新型提供一種三氯氫硅合成爐停爐后廢硅粉回收系統,通過設置進料管線和卸料管線,并借助真空泵,將三氯氫硅合成爐內的廢硅粉輸送至分離器中,一方面,實現了廢硅粉的封閉式回收,避免了硅粉與空氣中氧氣和水分接觸,保證的硅粉的活性,也降低了閃爆的危險,提高安全性;另一方面,降低人工勞動強度,保護了職工身體健康;通過分離器對廢硅粉中的大顆粒的硅粉與小顆粒的硅塵進行分離,將大顆粒的硅粉輸回收至三氯氫硅合成爐內,避免將失去活性的小顆粒硅塵帶入三氯氫硅合成爐內,能夠延長三氯氫硅合成爐的檢修周期;該廢硅粉回收系統結構簡單,易于操作。
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