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集成電路行業廢硫酸回收利用方法及系統

1018   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 05:34:44
本發明公開了一種集成電路行業廢硫酸回收利用方法及系統,屬于危險廢物處置技術領域。該方法包括以下步驟:S1、加熱:在催化劑的存在下,將待處理的廢硫酸加熱至25?90℃,加熱1?2h,制得稀硫酸;S2、濃縮:將步驟S1制得的稀硫酸進行濃縮,濃縮溫度為110?160℃,濃縮4?8h,制得濃硫酸;S3、精餾:將步驟S2制得的濃硫酸進行精餾,精餾2?4h,制得高純硫酸。該回收利用方法及系統不僅可以減少廢硫酸在排放過程中對環境造成污染的可能性,而且能夠通過該方法,去除廢硫酸中的過氧化氫、其他微量陰離子雜質和金屬離子雜質,并且不帶入其他雜質,制得高純度的硫酸,該硫酸可作為化學試劑使用,從而減少資源浪費。
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