本實用新型提供了一種多晶硅廢水分類處理及回收利用系統,包括酸洗廢水處理系統和硅粉碳化硅廢水處理系統;所述硅粉碳化硅廢水處理系統包括固液分離單元,分別與固液分離單元連接的切割砂漿處理系統和切割廢液處理系統。本實用新型提供的多晶硅廢水分類處理及回收利用系統,將多晶硅廢水分類并分別通過酸洗廢水處理系統和硅粉碳化硅廢水處理系統進行處理,層次分明地對多晶硅廢水進行分類處理、回收利用,降低了多晶硅廢水中氟離子對環境的危害,最大限度地回收了聚乙二醇、硅、碳化硅,實現了既確保出水達標,又減小了多晶硅廢水運行成本的效果。
聲明:
“多晶硅廢水分類處理及回收利用系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)