本申請公開了一種用于硅錠切片的支撐板及其制作方法,支撐板的組成材料包括ABS塑料和SAN塑料,ABS塑料的重量份數為50~100份,SAN塑料的重量份數為0~50份。本申請中的支撐板由熱塑性的ABS塑料和SAN塑料制成,支撐板的抗拉強度與彎曲強度提高,減少切割過程中崩邊的情況發生,良率提高,且可以降低金剛線的斷線幾率;在硅片切割過程中無需降低臺速,縮短切割時間,提升切割效率且降低切割能耗;并且,不摻任何無機物,可以對切割完畢后的支撐板進行回收得到回料,回料可以制成支撐板的底面回料層,避免固廢垃圾的產生,綠色環保,并且本申請中的支撐板的密度低于現有的支撐板密度,支撐板的質量更輕,易于回收操作。
聲明:
“用于硅錠切片的支撐板及其制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)