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用于凈化磷化氫氣體的裝置

1004   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 05:15:37
一種用于凈化磷化氫氣體的裝置,包括凈化罐,進氣管,出氣管,電磁閥,磷化氫傳感器和濾盒;所述凈化罐的底部設有進氣管;所述進氣管的末端設有氣體均布器;所述凈化罐的頂部設有出氣管;所述進氣管和出氣管上設有電磁閥;所述電磁閥與PLC控制器電連接;所述出氣管下方設有磷化氫傳感器;所述磷化氫傳感器與PLC控制器連接;所述濾盒放置在凈化罐內;所述濾盒內填充用于凈化磷化氫氣體的固體處理劑。該用于凈化磷化氫氣體的裝置結構簡單,使用方便,且其凈化效率高達99%以上,無二次污染,不產生廢液,對環境零污染。
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