一種用于凈化磷化氫氣體的裝置,包括凈化罐,進氣管,出氣管,電磁閥,磷化氫傳感器和濾盒;所述凈化罐的底部設有進氣管;所述進氣管的末端設有氣體均布器;所述凈化罐的頂部設有出氣管;所述進氣管和出氣管上設有電磁閥;所述電磁閥與PLC控制器電連接;所述出氣管下方設有磷化氫傳感器;所述磷化氫傳感器與PLC控制器連接;所述濾盒放置在凈化罐內;所述濾盒內填充用于凈化磷化氫氣體的固體處理劑。該用于凈化磷化氫氣體的裝置結構簡單,使用方便,且其凈化效率高達99%以上,無二次污染,不產生廢液,對環境零污染。
聲明:
“用于凈化磷化氫氣體的裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)