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從晶片切割砂漿中分離出切割液、碳化硅和硅粉的方法

1024   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 05:11:41
本發明公開了從晶片切割砂漿中分離出切割液、碳化硅和硅粉的方法，該方法工藝步驟包括：固液分離，用乙醇清洗分離出來的固體，再用純水洗滌甩干，然后用激光粒度儀測定硅粉和碳化硅/金屬混合物的粒度組成和分布狀態，并用X射線衍射精密測定各組成部分的質量比，將測得的數據通過臥螺沉降離心機分選參數，由臥螺沉降離心機將砂粉初步分離成主要為碳化硅和鐵粗粉、主要為碳化硅和硅的中粉和主要為硅的細粉，再將中粉加入電泳池，將電泳池上的電極加電，在電場作用下使碳化硅粉沉淀而硅粉上浮，再將沉淀后的碳化硅砂粉及粗粉進行堿洗和磁選除鐵，然后水洗甩干。該工藝突破了現有廢砂漿處理中超細顆粒的分離技術，并綜合處理解決現有污染問題。
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聲明：
“從晶片切割砂漿中分離出切割液、碳化硅和硅粉的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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