提供了一種使用硅污染減少系統(SPRS)來處理排氣流或廢氣流的方法和設備以通過氣體穩定化來除去至少一種不期望的物質而清潔排氣流或廢氣流從而允許經清潔的氣體流直接排放到大氣中。該設備包括用于依次處理排氣流或廢氣流的至少三個處理站,其中至少一個處理站是含有成核液體或沉淀液體的濕式反應器,其用于除去作為固體的不期望的物質并且用于氧化已從其中除去不期望的物質的殘留氣體流,并且至少一個處理站是或具有用于壓縮被處理的氣體流的氣體壓縮階段或部件。該方法和設備的優點是經處理的氣體流具有減少量的污染物可直接排放到大氣中。
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